Voordelen:
Deze serie pompen presteert goed onder zware omstandigheden (hoge temperatuur, stof, enz.), Stabiel in prestaties en met een lange levensduur, en ook eenvoudig onderhoud en gemakkelijke bediening.
Toepassingen:
De belangrijkste toepassingen zijn industriële lekdetectie, PVD, CVD, ionenimplantatie, fabricage van vacuüm elektronische componenten, low-E-glas, ITO-glas, optische coating, zonnecellen, lassen met elektronenstralen, vacuümovens en andere industrieën
Specificaties:
Flens (In) | DN400 ISO-K | Gas gedurende sccm) | N2:5500 |
Flens(Uit) KF | DN100 | hij:4000 | |
Pompsnelheid (L/s) | N2:3500 | H2:3200 | |
hij:2650 | Ar:2100 | ||
H2:1280 | Rotatiesnelheid ( rpm) | 13500 | |
Ar:3200 | Aanlooptijd (min) | ≤18 | |
Compressieverhouding | N2:108 | Koeltype, standaard | Water |
hij:103 | Koelwaterverbruik ( L/min) | ≥1 | |
H2:102 | Koelwatertemperatuur(℃) | ≤25 | |
Ar:108 | Stroomaansluiting: Spanning (V AC) | DC24/AC220 | |
Ultieme druk (Pa) | 6×10-6 | Max. Stroomverbruik W) | ≤1100 |
Maximaal Continue voorvacuümdruk (Pa) | 100 | Controllermodel | FD-III |
Maximaal Voorvacuümdruk | N2:300 | Gewicht (kg) | 130 |